МЭМС: конструкции, технологии, приложения
| Артикул: | 3572278 |
| ISBN: | 978-5-94836-688-3 |
| Тип переплета: | твердый |
| Тираж: | 500 |
| Издатель: | ТЕХНОСФЕРА |
| Дата издания: | 2024 |
| Количество страниц: | 620 |
В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного
состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке
микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромехани-
ческих систем (МЭМС).
Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов
и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до
инженеров – разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров –
технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий
и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической
техники.
В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены
все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических
датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств,
основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусиро-
вания МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандар-
тами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.
Подробно в объеме отдельных глав рассмотрены особенности технологии и конструкции
оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные
сферы применения МЭМС – автомобилестроение (противоугонные и навигационные системы,
системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления
двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские
приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые
датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм,
в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения.
Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным систе-
мам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы
калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы
вращающихся по крену летательных аппаратов).
Характеристики
| Место издания: Москва |
| Серия: Мир электроники |
| Высота, см.: 24,5 |
| Ширина, см: 17,5 |
| Толщина, см: 3 |
| Вес в граммах: 1 000 |
На товар пока нет отзывов
Поделитесь своим мнением раньше всех
Книги из серии «Мир электроники»
Просмотренные товары
Цена в магазине:
2119 ₽
Купить книгу «МЭМС: конструкции, технологии, приложения» в магазине «Библио-Глобус» по низкой цене. У Вас есть возможность приобрести книгу Белоус А.И «МЭМС: конструкции, технологии, приложения». Книжный магазин «Библио-Глобус» регулярно проводит акции и предоставляет скидки на книги и другие товары.